中国科学院微电子所研究员，中组部千人计划特聘专家，现任该所集成电路先导工艺研发中心主任。1982年在南京大学获学士学位，1988年在哈工大获硕士学位，1999年在比利时鲁汶大学获博士学位，2000年1月至2010年3月，在IMEC任资深科学家。先后在国际学术期刊和会议上发表论文150多篇，申请发明专利80项。